顆粒在沒有控制的大氣環(huán)境下肉眼是不可見的。例如起居室或辦公室中顆粒的數(shù)目大致在每立方米五百萬個(gè)。為了保持潔凈水平,生產(chǎn)工人必須穿能蓋住全身且不吸引和攜帶顆粒的潔凈fu。
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接下來硅錠被刻出一個(gè)小豁口或一個(gè)小平面,以顯示晶向。一旦通過檢查,就將硅錠切割成晶圓片。由于硅很硬,要用金剛石鋸來準(zhǔn)確切割晶圓片,以得到比要求尺寸要厚一些的晶片。金剛石鋸也有助于減少對(duì)晶圓片的損傷、厚度不均、彎曲以及翹曲缺陷。
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拋光后,晶圓片要通過一系列清洗槽的清洗,這一過程是為去除表面顆粒、金屬劃痕和殘留物。之后,要經(jīng)常進(jìn)行背面擦洗以去除的顆粒。這些晶圓片經(jīng)過清洗后,將他們按照最終用戶的要求分類,并在高強(qiáng)度燈光或激光掃描系統(tǒng)下檢查,以便發(fā)現(xiàn)不必要的顆?;蚱渌毕荨?/p>
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