無線傳感器網(wǎng)絡(luò)是新興的通信應(yīng)用網(wǎng)絡(luò)，其應(yīng)用可以涉及到人類生活和社會活動的所有領(lǐng)域。因此，無線傳感器網(wǎng)絡(luò)將是未來的一個無孔不入的十分龐大的網(wǎng)絡(luò)，需要各種技術(shù)支撐。目前，成熟的通信技術(shù)都可能經(jīng)過適當?shù)母倪M和進一步發(fā)展，應(yīng)用到無線傳感器網(wǎng)絡(luò)中，形成新的市場增長點，創(chuàng)造無線通信的新天地。

無線傳感器網(wǎng)絡(luò)就是由部署在監(jiān)測區(qū)域內(nèi)大量的廉價微型傳感器節(jié)點組成，通過無線通信方式形成的一個多跳自組織網(wǎng)絡(luò)，其目的是協(xié)作地感知、采集、處理和傳輸網(wǎng)絡(luò)覆蓋地理區(qū)域內(nèi)感知對象的監(jiān)測信息，并報告給用戶。 它的英文是Wireless Sensor Network, 簡稱WSN。 大量的傳感器節(jié)點將探測數(shù)據(jù)，通過匯聚節(jié)點經(jīng)其它網(wǎng)絡(luò)發(fā)送給了用戶。

電容式壓力傳感器的溫度特性好，所以國內(nèi)對其溫度效應(yīng)的研究很少。但隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，人們對傳感器的性能要求越來越高，傳感器的溫度特性也開始受到人們的重視。接觸式或非接觸式壓力傳感器都存在一定的溫度效應(yīng)，如果能xc溫度影響，保證良好的壓力特性，將使得傳感器具有更良好的應(yīng)用前景。介紹基于SOI硅／硅鍵合工藝的接觸電容式高溫壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及測試裝置，通過對傳感器真空和大氣環(huán)境下的高溫測試來分析溫度對傳感器測試結(jié)果的影響。

溫度傳感器及熱敏元件

溫度傳感器主要由熱敏元件組成。熱敏元件品種教多，市場上銷售的有雙金屬片、銅熱電阻、鉑熱電阻、熱電偶及半導(dǎo)體熱敏電阻等。以半導(dǎo)體熱敏電阻為探測元件的溫度傳感器應(yīng)用廣泛，這是因為在元件允許工作條件范圍內(nèi)，半導(dǎo)體熱敏電阻器具有體積小、靈敏度高、精度高的特點，而且制造工藝簡單、價格低廉。