對泵的修理,可慮從減小它的間隙公差著手。一首先,設法改變它的偏心值:把中間軸套換一偏心套,使上切點間隙減小到0 02 mm;將高真空
室泵腔研磨去Q 03 mm,低真空室泵腔研磨去0 04 mm.清洗后倒放在平臺上組裝(不打定位銷),邊組裝邊用手盤動泵輪,并以對角均勻原則擰緊緊固螺釘。根據經驗,如果轉子外表是正圓形,則轉動泵輪時,不管到那一點,均不應有阻滯費力的感覺;但如果裝配不正或轉子外表為橢圓形,在轉動泵輪時,就會發(fā)生半周輪重、半周輪輕的感覺。該泵裝配間隙減的很小,裝配時稍有不慎,就裝不正,這樣由于摩擦發(fā)熱等原因,就容易在運轉中卡死或研壞。所以要認真、細致地裝配。在裝完后試抽,其真空度用熱偶真空計測達82格,由曲線查得相當于8X103托,麥氏計測達2X 104托以上。運轉一段時間后真空度還略有提高。
真空泵和電動機的安裝
真空泵和壓縮機在安裝前,用手轉動聯軸器,保證真空泵內沒有卡住和其它損壞現象。整套設備運抵安裝地點時,若bao裝已損壞或受潮,以及真空泵已經出廠八個月以上時,應在安裝真空泵前全部拆開檢查。若真空泵或壓縮機正常,將真空泵和電動機安裝在泵座上時,應校正電動機軸與泵軸的同心度,因為真空電動機軸與泵軸之間有極小的傾斜也會引起軸承發(fā)熱和零件的嚴重磨損。校正方法如下:將直尺平行放在聯軸器上,在整個圓周的任何位置直尺應與聯軸器圓周wq密合,沒有間隙,并且聯軸器的軸向間隙相等時,則達到了所要求的同心度。
電動機與泵軸,即使有極小的傾斜,也會引起軸承發(fā)熱和零件過早磨損等嚴重后果,若安裝正確,用后即能輕松地轉動泵軸。在真空泵的進氣口應安裝過濾裝置,以防異物進入泵腔內。
真空機組具有很高的抽氣效率
真空機組具有很高的抽氣效率,簡化高真空機組,取消羅茨真空泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。對于較大型的高真空機組應用設備,也可以適當加強前級真空泵的預抽能力,進一步縮短抽氣時間,由于預抽時間與整個排氣過程相比很短,故前級真空泵的使用時間很短,因此可以兼作多套設備的預抽作用。這樣一來就使規(guī)模化應用的真空機組得到了大大的簡化。在某些中真空應用中,需要進入10-1Pa范圍,這對羅茨真空泵的二級機組往往難于實現,而使用二級羅茨真空泵串接的三級機組可使真空度提高一個數量級而進入10-1Pa,所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速,所以也可以在三級中真空機組中取兩級羅茨真空泵。
通常長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨真空泵,分子增壓真空泵可以wq取。而長時間工作在中真空gd壓力范圍的羅茨真空泵相對而言應該較少,因為這一壓力范圍前級真空泵往往還具有強勁的抽速。