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壓強(qiáng)為1Pa,溫度為27℃時(shí),氣體分子的密度n為
n=1/(1.38×10-23×(273+27))=2.4×1020個(gè)/m3
掃描電鏡真空系統(tǒng)--渦輪分子泵一、渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)原理
利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵有超高真空低能耗,氣體輸送能力強(qiáng),循環(huán)時(shí)間短使用時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
冷卻方式:風(fēng)冷、水冷