復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域{bfb}覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)bao圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

⑶并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。

【美清凈化工程像您推薦——潔凈室】

什么是潔凈室首先高校師生對(duì)潔凈室的概念存在誤區(qū)， 大部分師生都稱(chēng)之為無(wú)菌室， 事實(shí)上{jd1}無(wú)菌的空間是很難獲得的， 更專(zhuān)業(yè)的稱(chēng)呼如題名應(yīng)該叫“潔凈室”。那什么樣的空間可以稱(chēng)之為“潔凈室”呢？以下從概念、狀態(tài)、氣流形式、分級(jí)幾個(gè)方面來(lái)闡述。同時(shí)引申一個(gè)問(wèn)題， 潔凈到什么樣的程度才可以符合實(shí)驗(yàn)要求？ 概念：對(duì)塵粒及微生物污染規(guī)定需進(jìn)行環(huán)境控制的房間和區(qū)域，其建筑結(jié)構(gòu)、裝備及其使用均具有減少對(duì)該區(qū)域污染的介入、產(chǎn)生和滯留的功能。其他相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力也有必要控制。 狀態(tài)：靜態(tài) （at-rest）指凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已安裝完畢且功能完備的情況下，潔凈室內(nèi)工作人員撤離現(xiàn)場(chǎng)并經(jīng)過(guò)20 min自?xún)艉蟮臓顟B(tài)。動(dòng)態(tài)（operational）指潔凈室處于正常工作狀態(tài)， 設(shè)備正常運(yùn)行，并且有指定的人員按照規(guī)范操作。對(duì)于高校師生來(lái)講更應(yīng)該關(guān)注動(dòng)態(tài)的監(jiān)測(cè)結(jié)果。

控管項(xiàng)目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3、溫度和濕度之控制。

4、壓力之調(diào)節(jié)。

5、 有害氣體之排除。

6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

7、靜電之防制。

8、電磁干擾預(yù)防。

9、安全因素之慮。

10、節(jié)能之量。