公司長(zhǎng)期致力于真空泵維修保養(yǎng)fu務(wù)，以真空泵維修經(jīng)驗(yàn)跟大家分享下真空泵維修一些修理經(jīng)驗(yàn)。

有些泵，按其極限真空度的指標(biāo)來(lái)說(shuō)，也并不是很低的，但是生產(chǎn)上卻希望它還能提高些，應(yīng)如何著手呢?

 對(duì)下面一臺(tái)新的2X-30型旋片式油封機(jī)械真空泵的修理經(jīng)驗(yàn)就可借鑒。在該泵起初進(jìn)行試抽時(shí)并未發(fā)現(xiàn)它有什么大毛病。生產(chǎn)上用它單獨(dú)抽空希望能穩(wěn)定地達(dá)到熱偶真空計(jì)75格以上(相當(dāng)于麥?zhǔn)嫌?xùn)·測(cè)的5X10;托)，而實(shí)際上它比所希望的低不多。

  修理時(shí)，將其拆卸后測(cè)得其主要部位間隙尺寸為:轉(zhuǎn)子切點(diǎn)間隙Q 04 nom,高真空室雙面間隙Q 07 mm，低真空室雙面間隙a 08 mm，轉(zhuǎn)子比旋片短0 02mm。這些數(shù)據(jù)與表2來(lái)比較，還是正常的范圍。

真空泵市場(chǎng)發(fā)展現(xiàn)狀

真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。

一直以來(lái)，真空泵的使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。真空泵的意外出錯(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其他部件的損壞。由于真空泵設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)真空泵如圓裂片式、爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了百分之六十。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。