利用185nm波段的紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。 UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機(jī)物具有極強(qiáng)的氧化作用，對工業(yè)廢氣及其它小分子物有立竿見影的qc效果，工業(yè)有機(jī)廢氣利用排風(fēng)設(shè)備輸入到本凈化設(shè)備后

xc有害氣體異味，初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當(dāng)能量超過氧分子的電離電位時(shí)，氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結(jié)合變成負(fù)極性氧離子（O2-），結(jié)果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群，具有極強(qiáng)的氧化性，可在很短的時(shí)間內(nèi)將污染空氣中的有害成分氧化分解為無害的產(chǎn)物和水； O2+e（3.6eV）→·O+O H2O+e（5.09eV）→·OH+HO+·OH→·OH2
光催化氧化技術(shù)利用光激發(fā)氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結(jié)合。所用光主要為紫外光，bao括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CHCl3、CCl4、多氯聯(lián)苯等難降解物質(zhì)。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協(xié)同效應(yīng)，使H2O2分解產(chǎn)生羥基自由基的速率大大加快，促進(jìn)有機(jī)物的氧化去除。