一、改變電源的頻率，即采用變頻器。采用變頻器的好處是可以給真空泵提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。
二、改變齒輪箱的傳動(dòng)比。改變真空泵齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，但是，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。干式真空泵有著不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來(lái)，真空泵的使用成本是影響人們選擇真空泵的重要因素。真空泵的意外出錯(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其他部件的損壞。由于螺桿式真空泵設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)真空泵如圓裂片式、爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了百分之六十。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。格綠建議用戶認(rèn)為耗電量對(duì)他們來(lái)說(shuō)最為重要而氮?dú)庥昧繉?duì)他來(lái)說(shuō)最不重要，那么內(nèi)部壓縮型螺桿式真空泵可以是一個(gè)好的選擇。更多資訊請(qǐng)關(guān)注中國(guó)泵業(yè)產(chǎn)業(yè)網(wǎng)。