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硼化物靶材:硼化鑭靶材LaB6、硼化鈰靶材CeB6、硼化鋱靶材TbB6、硼化銪靶材EuB6、硼化釤靶材SmB6、硼化鉿靶材HfB、硼化鈦靶材TiB、硼化鉻靶材CrB、硼化釩靶材VB、硼化鋯靶材ZrB、硼化鐵靶材FeB、硼化鉭靶材TaB、硼化鈮靶材NbB、硼化鎳靶材NiB、硼化鉬靶材MoB、硼化硅靶材SiB、硼化鋁靶材AlB、硼化鎂靶材MgB、硼化鋇靶材BaB、硼化鎢靶材WB、硼化鈷靶材CoB、硼化鈣靶材CaB、硼化鎳靶材NiB。
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