■測量范圍(XYZ):250x 150x 200 mm
■測量系統(tǒng)尺寸(LWH):74 x 54 x 80cm,120kg
■計算機尺寸(LWH):76 x 45 x 56cm,23kg
■光柵尺分辨率:0.1 μm
■馬達驅(qū)動:直流伺服馬達
■平臺操控:符合人體工程學原理的多功能四軸操縱桿(X, Y, Z, 變焦)
■平臺移動速度:150mm/秒(X,Y),100mm/秒(Z)
■工作臺:有夾具孔且加固的平臺,可拆卸平板玻璃, 25kg承載力
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■電力要求:115/230vac,50/60Hz,1Ф , 700W
■額定溫度:18-22℃ + 1℃/小時,30-80%濕度(無冷凝水),振動<0.001克,低于15HZ
■操作環(huán)鏡:15-30℃
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