1L/min~10L/min(耐腐)面板式安裝
82 31A-060AA17 玻璃轉(zhuǎn)子流量計 1L/min~10L/min(耐腐)面板式安裝 DK800-6F PCS 核心備件
85 主儀表備件
86 52A-150AA10 OMA-2000 儀表(外置) 4.100.016-00 PCS 儀表類
87 3980002000X ZrO-100氧化鋯單元(II型) 3.980.002 PCS 儀表類
88 SGA00003800 濕度傳感器
濕度量程范圍:0%~{bfb}RH HMT180 PCS 儀表類
89 激光粉塵儀(后散射) LDM-100 PCS 儀表類
90 TPF-100溫壓流一體化 PCS 儀表類