XENOS可在各類(lèi)要求高測(cè)量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測(cè)量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一gd測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度達(dá)到技術(shù)極限,其測(cè)量范圍近1立方米。
XENOS采用了全新的機(jī)械設(shè)計(jì)理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同:Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部,分離式移動(dòng)行程軸僅橫梁于Y軸方向移動(dòng),更小及恒定的移動(dòng)重量——與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱(chēng)真正的優(yōu)勢(shì)。更低及恒定的移動(dòng)重量造就了加速及高速度的wm統(tǒng)一。
測(cè)量范圍
XENOS X Y Z
9/15/7 900 1,500 700
所有軸均采用線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)
XENOS的所有軸均采用線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)。其優(yōu)點(diǎn):高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的極高定位精度。例如,測(cè)針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測(cè)量精度。于測(cè)量曲面時(shí)更顯見(jiàn)另一優(yōu)勢(shì):測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合,即可實(shí)現(xiàn)越出色的準(zhǔn)確性。
虛擬中央驅(qū)動(dòng)
XENOS于Y軸向配備雙線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),得益于蔡司新的中央驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置wm分布驅(qū)動(dòng)力。作為{zx1}控制系統(tǒng)及算法之wm結(jié)合,這是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測(cè)量精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。