產(chǎn)品概述：
錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實(shí)驗(yàn)臺，它的諸多設(shè)計(jì)都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如，要求的磁場值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián)；位移臺還可與磁流體密封搭配，實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺360度轉(zhuǎn)動(dòng)；除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個(gè)（可選6個(gè)或8個(gè)）擁有高精度位移的探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
測試范圍：
磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機(jī)械系統(tǒng)，超導(dǎo)電性測試，納米電路的光電屬性，量子點(diǎn)和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
技術(shù)指標(biāo)：
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高低溫真空磁場探針臺
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型號
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T8-EM4
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T8-EM5
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T8-EM7
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真空度
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高達(dá)10-8Pa
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腔體材質(zhì)
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無磁不銹鋼或者鋁合金
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磁場范圍
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2000Gs @50mm
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5000Gs@50mm
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1T@50mm
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磁場方向
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水平（可按用戶要求設(shè)計(jì)成豎直方向的）
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配套電源
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雙極性電源±50A
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雙極性電源±70A
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雙極性電源±90A
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電源穩(wěn)定性
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50ppm（可選10ppm）
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制冷方式
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液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機(jī)
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溫度范圍
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5K-325K可選500K
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控溫分辨率
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0.001K控溫儀相關(guān)
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溫度穩(wěn)定性
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優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀
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溫度傳感器
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硅二極管/PT100/CernoxTM
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傳感器數(shù)量
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樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個(gè)
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樣品臺尺寸（max）
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Φ50mm，平整度≤7μm
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樣品臺固定方式
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真空硅脂/彈簧壓片
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樣品臺材質(zhì)
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鍍金無氧銅
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顯微鏡行程
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X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm
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放大倍數(shù)
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16~100X/20~4000X
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真空腔觀察窗尺寸
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1inch
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1.5inch
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2inch
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窗口材料
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熔融石英（可選K9、氟化鈣等）
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探針臂數(shù)量
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2、4、6、8可選
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探針臂行程
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(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換
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位移精度
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10μm /2μm/1μm/0.7μm可選
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接口形式
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普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等
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探針直徑
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0.51mm
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針尖直徑
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10μm/5μm/1μm可選
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探針材料
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鎢/GGB
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供電電壓
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AC220V 50Hz/60Hz
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AC380V 50Hz/60Hz
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