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上海伯東渦輪分子泵 HiPace 1200

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

021-50463511

上海市外高橋保稅區(qū)希雅路33號17號樓3層

ec@hakuto-vacuum.cn

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上海伯東渦輪分子泵 HiPace 1200 上海伯東渦輪分子泵 HiPace 1200圖片上海伯東渦輪分子泵 HiPace 1200生產(chǎn)廠家

伯東企業(yè)（上海）有限公司

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界{yl}的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，100% 使用原廠進(jìn)口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。

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因產(chǎn)品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準(zhǔn)。

Pfeiffer  HiPace 1200
上海伯東銷售維修德國普發(fā) Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達(dá) 1250 l/s 的高性能. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒. 集成驅(qū)動電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級 IP54. 通過控制器, 監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能的保證的safe性.  HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200.  HiPace 1200 通訊接口 RS-485, 遠(yuǎn)程遙控（Profibus/DeviceNet 備詢）, 多種配件供客戶選擇.
渦輪分子泵 HiPace 1200 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認(rèn)證
防護(hù)等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能的保證的safe性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
Pfeiffer  HiPace 1200 技術(shù)規(guī)格

型號	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 ISO-K	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 ISO-F	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 CF-F
Ar 壓縮比	>1X108	>1X108	>1X108
H2 壓縮比	6X103	6X103	6X103
He 壓縮比	2X104	2X104	2X104
N2 壓縮比	>1X108	>1X108	>1X108
max預(yù)抽真空, N2 hPa	2	2	2
Ar全轉(zhuǎn)速時氣體流量hPa l/s	11	11	6
H2 全轉(zhuǎn)速時氣體流量hPa l/s	>30	>30	>30
He全轉(zhuǎn)速時氣體流量hPa l/s	>30	>30	16
N2 全轉(zhuǎn)速時氣體流量hPa l/s	20	20	16
操作電壓 V AC	100-120 / 200-240	100-120 / 200-240	100-120 / 200-240
max電流 A	10	10	10
允許max磁場 mT	6	6	6
Ar抽速l/s	1200	1200	1200
H2 抽速l/s	1100	1100	1100
He 抽速 l/s	1300	1300	1300
N2 抽速l/s	1250	1250	1250
轉(zhuǎn)速 ± 2 % rpm	37800	37800	37800
啟動時間 min	2.5	2.5	2.5
極限真空 hPa	1X10-7	1X10-7	5X10-10
重量 kg	29.5	30.5	40.9

渦輪分子泵 HiPace1200 抽速
渦輪分子泵 HIPace1200 尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)款渦輪分子泵 HiPace 1200 在售型號
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒

進(jìn)氣口	分子泵控制器	I/O接口	集成電源包	資料下載
DN 200 ISO-K	另配 TCP 1200	TCP 1200	-
DN 200 ISO-F	另配 TCP 1200	TCP 1200	-
DN 200 CF-F	另配 TCP 1200	TCP 1200	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	-

渦輪分子泵 HiPace 1200 U 在售型號
安裝位置:高架 (90°-180°)

進(jìn)氣口	分子泵控制器	I/O接口	集成電源包	資料下載
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	-

耐腐蝕渦輪分子泵 HiPace 1200 C 在售型號
專為腐蝕性氣體而設(shè)計, 帶有附有涂層轉(zhuǎn)子和耐腐蝕性氣體的工作流體, 非常適用于腐蝕性氣體應(yīng)用

進(jìn)氣口	分子泵控制器	I/O接口	集成電源包	資料下載
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	-

耐腐蝕, 90°-180°安裝位置渦輪分子泵 HiPace 1200 UC 在售型號
耐腐蝕,安裝位置:高架 (90°-180°)

進(jìn)氣口	分子泵控制器	I/O接口	集成電源包	資料下載
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 CF-F	TC 1200	RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus	-
DN 200 ISO-K	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 ISO-F	TC 1200	E74, RS-485	-
DN 200 CF-F	TC 1200	E74, RS-485	-

HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬盤鍍膜, 硬質(zhì)涂層, 卷繞鍍膜, 光學(xué)鍍膜, CD / DVD / PVD
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 電子束焊接, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 聚變研究, 等離子研究, 模擬空間站, 基本粒子物理學(xué), 生物技術(shù)
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, MBE
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