(1) 在精密視覺檢測設(shè)備中,如硅片檢測過程要求其運動系統(tǒng)具有較高的精度,實現(xiàn)其中的精密直線運動對整個復(fù)合運動平臺至關(guān)重要.采用直線電機驅(qū)動的方式設(shè)計了一套精密直線運動平臺,闡述了其機械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)設(shè)計過程.實驗結(jié)果和實際應(yīng)用表明:本平臺比目前采用滾珠絲杠驅(qū)動的直線運動平臺具有更高的精度、更大的加速度、運行更平穩(wěn)和更長的壽命等優(yōu)點,可以完成硅片檢測過程要求的運動,運動精度滿足了應(yīng)用場合的要求.</p><p> (2)在數(shù)控加工行業(yè)中,傳統(tǒng)的“旋轉(zhuǎn)電機+滾珠絲杠”的傳動形式所能達到的進給速度為30m/min,加速度僅為3m/2s。直線電機驅(qū)動工作臺,速度為傳統(tǒng)傳動方式的30倍,加速度是傳統(tǒng)傳動方式的10倍,可達10g;剛度提高了7倍;直線電機直接驅(qū)動的工作臺無反向工作死區(qū);由于電機傳動慣量小,由其構(gòu)成的直線伺服系統(tǒng)可以達到較高的頻率響應(yīng)。此外,在壓力機、坐標測量機、水切割機、等離子切割機、快速原型機及半導(dǎo)體設(shè)備的X-Y工作臺上直線電機都有應(yīng)用。