電去離子(Electrodeionization 簡稱EDI)是將電滲析膜分離技術(shù)與離子交換技術(shù)有機地結(jié)合起來的一種新的制備超純水(高純水)的技術(shù)，它利用電滲析過程中的極化現(xiàn)象對填充在淡水室中的離子交換樹脂進行電化學(xué)再生。

　　EDI膜堆主要由交替排列的陽離子交換膜、濃水室、陰離子交換膜、淡水室和正、負電極組成。在直流電場的作用下，淡水室中離子交換樹脂中的陽離子和陰離子沿樹脂和膜構(gòu)成的通道分別向負極和正極方向遷移，陽離子透過陽離子交換膜，陰離子透過陰離子交換膜，分別進入濃水室形成濃水。同時EDI進水中的陽離子和陰離子跟離子交換樹脂中的氫離子和氫氧根離子交換，形成超純水(高純水)。超極限電流使水電解產(chǎn)生的大量氫離子和氫氧根離子對離子交換樹脂進行連續(xù)的再生。傳統(tǒng)的離子交換，離子交換樹脂飽和后需要化學(xué)間歇再生。而EDI膜堆中的樹脂通過水的電解連續(xù)再生，工作是連續(xù)的，不需要酸堿化學(xué)再生。

　　典型半導(dǎo)體行業(yè)清洗用超純水設(shè)備制備工藝

　　預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線sj器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)

　　此純水設(shè)備的特點如下：

　　(1)出水水質(zhì)具有{zj0}的穩(wěn)定度

　　(2)能連續(xù)生產(chǎn)出符合用戶要求的超純水

　　(3)模塊化生產(chǎn)，并可實現(xiàn)全自動控制

　　(4)不需酸堿再生，無污水排放

　　(5)不會因再生而停機

　　(6)無需再生設(shè)備和化學(xué)藥品儲運

　　(7)設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小

　　(8)運行成本和維修成本低

　　(9)運行操作簡單，勞動強度低

　　適用范圍

　　·化工材料的生產(chǎn)和加工過程所用的溶劑及清洗過程

　　·超純材料和超純化學(xué)試劑

　　·實驗室和中試車間

　　·電子半導(dǎo)體、集成電路板上用到的化工材

　　·石英、硅材料生產(chǎn)、加工、提純

　　·高純墨水、傳真打印機中的噴墨、納米墨水