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上海伯東日本原裝進口離子蝕刻機 10 IBE
上海伯東日本原裝進口離子蝕刻機 10 IBE

上海伯東日本原裝進口離子蝕刻機 10 IBE

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周舟(銷售助理)
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伯東企業(yè)（上海）有限公司
021-50463511
上海市外高橋保稅區(qū)希雅路33號17號樓3層
ec@hakuto-vacuum.cn
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伯東企業(yè)（上海）有限公司

 伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界{yl}的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務，覆蓋工業(yè)、半導體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
    上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權代理商，全權負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務，100% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。
詳細信息 我也要發(fā)布信息到此頁面

離子蝕刻機 10 IBE

 10 IBE
上海伯東日本原裝進口適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實驗室研究的離子蝕刻機, 一般通氬氣 Ar, 內(nèi)部使用美國 KRI  KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 監(jiān)測當前氣體成分, 判斷刻蝕情況.

基板尺寸

φ4 X 1wfr

 NS 離子刻蝕機檢測器可選

樣品臺

直接冷卻（水冷）0-90 度旋轉(zhuǎn)

離子源

4 cm,8cm,10cm,16cm

均勻性

±5% for 4”Ф

硅片刻蝕率

20 nm/min

溫度

<100


伯東主要優(yōu)點
1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發(fā)研究及量產(chǎn)得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國
4. 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
6. 配置公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產(chǎn)過程.
 10IBE 組成：
NS 離子刻蝕機

通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
NS 離子蝕刻機
Hakuto 日本原裝設計制造 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供. 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國  和美國 !

若您需要進一步的了解詳細信息或討論,  請參考以下聯(lián)絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
                    

伯東版權所有,  翻拷必究!


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