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德國普發(fā)高壓http://. Pfeiffer HPA 220 組成：
l 四級質(zhì)譜分析儀
l 手動或自動控制進(jìn)樣閥門
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前級泵 MVP 020-3
l 標(biāo)準(zhǔn)真空腔體
l 全量程真空計 PKR 251
l 閥門控制單元 VCU 220
l 分子泵顯示器
l 軟體：Quadera + HPA Add-In
l 連接法蘭 DN 40 CF-F
l 電源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz
可選的附加組件：
1.腔體加熱裝置 2.分子泵控制單元 DCU 002 3.定制軟體 4.其他全量程真空規(guī)
德國普發(fā)高壓http://. Pfeiffer HPA 220 優(yōu)點：
l 此款質(zhì)譜分析儀操作組裝靈活，適用各種壓力范圍
l 簡單的系統(tǒng)集成 模組式組裝
l 高靈敏度 多路傳輸操作
l 操作直觀 提供廣泛的應(yīng)用
德國普發(fā)高壓http://. Pfeiffer HPA 220 應(yīng)用行業(yè)：
在一個壓力范圍內(nèi)（1 x 10-7到50 hPa）進(jìn)行過程分析、監(jiān)控
1.真空鍍膜行業(yè) 2.半導(dǎo)體行業(yè) 3.光刻行業(yè) 4.冶金行業(yè) 5.真空爐 6.實驗研究
http://. 技術(shù)參數(shù)：
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質(zhì)量數(shù)（可選）
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1-100 amu
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1-200 amu
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1-300 amu
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質(zhì)譜分析儀
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QMA 220
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前級泵
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MVP 020-3
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電源線長度（可選）
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3m
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10m
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檢測
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C-SEM/Faraday
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C-SEM 最小檢測極限
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1X10-14 hPa
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Faraday 最小檢測極限
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5X10-12 hPa
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壓縮空氣
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5-7 bar
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進(jìn)氣法蘭
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DN 40 CF-F
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工作壓力（可選）
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1 hPa
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8hpa
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50hpa
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四級桿直徑/長度
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6 mm/ 100 mm
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C-SEM 精度
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200 A/hPa
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Faraday 精度
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5X10-4 A/hPa
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電源
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115-230 V
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重量
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15 kg
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http://. 尺寸圖：
上海伯東主營產(chǎn)品：德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵，http://.，http://.，http://.；應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的http://.，http://.，http://.以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機等。
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