離子源中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯東美國 KRI 考夫曼離子源提供中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes 結(jié)構(gòu)緊湊, 重量輕, 可以安裝在離子源或真空系統(tǒng)的側(cè)面, 相對于燈絲的模式有更長的使用壽命, 這在運行忌諱突然中斷的復雜工藝時, 是非常有意義的. 而且離子源中空陰極 Hollow cathode 輻射的熱量更低, 可以使襯底獲得更低的溫度,對于對溫度敏感的襯底材料而言, 使用中空陰極更有優(yōu)勢.
離子源中空陰極 Hollow Cathodes 型號
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Model
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HFx
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SHC1000
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DSHC1000
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Cathode
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Yes
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Yes
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Yes
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Neutralizer
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Yes
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Yes
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Yes
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Orientation
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Vertical / Horizontal
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Vertical / Horizontal
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Vertical / Horizontal
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Regulation
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Emission
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Emission
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Emission
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Operational gas
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None
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Inert
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Inert
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Process gases
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Inert & reactive
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Inert & reactive
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Inert & reactive
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Power Controller
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FC100x
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e- Mission Power Pack
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e- Mission Power Pack
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Model
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MHC1000
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LHC1000
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Cathode
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Yes
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Yes
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Neutralizer
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Yes
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Yes
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Orientation
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Vertical / Horizontal
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Vertical / Horizontal
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Regulation
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Emission
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Emission
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Operational gas
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Inert
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Inert
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Process gases
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Inert & reactive
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Inert & reactive
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Power Controller
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e- Mission Power Pack
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e- Mission Power Pack
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1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn), 和. 美國歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國中國總代理.
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