KRI 考夫曼 KDC 160
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列大,離子能量最強的柵極, 適用于已知的所有應用, KDC 160 高輸出設計,電流超過 1000 mA. 無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計,標準配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.
KRI 考夫曼 KDC 160 技術參數(shù)
型號
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KDC 160
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供電
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DC magnetic confinement
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- 陰極燈絲
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2
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- 陽極電壓
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0-100V DC
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電子束
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OptiBeam?
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- 柵極
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專用, 自對準
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-柵極直徑
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16 cm
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中和器
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燈絲
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電源控制
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KSC 1212
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配置
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-
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- 陰極中和器
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Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
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- 安裝
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移動或快速法蘭
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- 高度
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9.92'
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- 直徑
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9.1'
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- 離子束
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聚焦
平行
散設
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-加工材料
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金屬
電介質(zhì)
半導體
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-工藝氣體
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惰性
活性
混合
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-安裝距離
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8-45”
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- 自動控制
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控制4種氣體
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* 可選: 可調(diào)角度的支架
KRI 考夫曼 KDC 160 應用領域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
表面改性, SM
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE