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主要特點(diǎn):
1. {zd0}6”樣片
2. 最多10個cell
3. 適用于III-V族和II-VI族
4. 配有LoadLock Chamber
5. 真空部分:Ion Pump, TSP, Turb Pump
如有需要,歡迎來電咨詢相關(guān)信息。