晶圓芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高溫烘箱

VOD-210

產(chǎn)品特點：

1）迅速脫氧：該箱內(nèi)膽采用不銹鋼制造，箱壁接縫全部采用氬弧焊焊接，密封性能{jj0}，能快速脫氧；

2）{gx}率：穩(wěn)定和快速的升溫性能，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量和效率；

3）保溫節(jié)能：箱體與工作室之間填充高密度纖維棉作保溫材料，有效保濕節(jié)能；

4）密封性好：箱門與工作室外框設(shè)有耐高溫?zé)o塵密封條和壓緊裝置，有效地保證了箱體的密封性能；

5）置物架：工作室內(nèi)設(shè)計可抽取的載物網(wǎng)板；

6）美觀簡潔：設(shè)備外形美觀，操作簡便，控溫靈敏準(zhǔn)確；

主要技術(shù)參數(shù)：

1：電源：AC380V 3φ 50HZ 18KW

2：工作尺寸：W560×D640×H600

   外形尺寸：W910×D990×H1865

3：溫度范圍：RT+10℃～450℃

4：升溫速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute

5：降溫速率：2 ℃/minute～4 ℃/minute(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

6：外壁材料： 冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷;   

7：內(nèi)膽材料：5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光; 

8：保溫材料：厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好;

9：門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)

10：真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);

11：真空度: ≤10 pa；

12：加熱元件：四面輻射加熱;  

13：電器系統(tǒng)：系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停；   

14：溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器

15：安全保護：加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、缺相保護、電爐超溫報警等功能。

晶圓芯片450度真空充氮烘箱，10pa以下硅晶片真空高溫烘箱