COMEF圖形處理軟件的特點(diǎn)是能容易并準(zhǔn)確的測量線寬、特征尺寸和柵格。

COMEF測量功能是基于亞像素精度的灰值處理。除了測量功能，COMEF

還可以提供直觀的文本文件、數(shù)字圖像文件和協(xié)議文件。

像機(jī)接口與現(xiàn)有顯微鏡的使用

COMEF 有多種接口用于數(shù)字USB 2.0像機(jī)或者任何種類的模擬CCD像機(jī)，

因此該軟件十分適合去升級(jí)現(xiàn)有的顯微鏡。

測量精度

測量精度是像機(jī)像素的1/10。因此精度取決于像機(jī)像素的大小和物鏡與像機(jī)

芯片之間光學(xué)放大率。就一個(gè)5um像素和10倍放大來說，精度是50nm。當(dāng)然，

精度會(huì)受衍射等物理因素的影響并依賴于測量物體的數(shù)字孔徑的物鏡分辨率。

徹底的解決方案

IMM 200顯微鏡工作在明場入射光。配備了無限修正的高質(zhì)量物鏡5倍、10倍、

20倍和50倍。目鏡視覺放大結(jié)果10倍到50倍、100倍、200倍和500倍。IMM 200

配有X/Y平臺(tái)（200X200mm）有效沖程。每個(gè)位置都可以鎖定，然后通過微旋鈕

精準(zhǔn)的定位。真空晶片夾能在真空吸片時(shí)90度旋狀，此外還還可以使用為旋鈕

進(jìn)行角度精準(zhǔn)定位。顯微鏡即可用于視覺檢測也可與像機(jī)相連。使用像機(jī)時(shí)，

一個(gè)TV-tube和不同的TV-adaptions將被使用。