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低溫泵、冷泵

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低溫泵/冷泵 Cryopump

CRYO-PLEX?8型

抽速(升/秒): 空氣1500 l/s; 水氣4000l/s; 氫氣2500 l/s; 氬氣1200

通導(dǎo)(scc/min): 氬氣

重量（Kg）:20.4

吸氣能力（std.liters）：氬氣1000 氫氣18（5x10-6torr）

轉(zhuǎn)換點(diǎn)（torr.liters）:150

制冷時(shí)間（min）：90

泵口法蘭：6in.ANSI(外徑11in.) ISO NW200 10in.CF

外形尺寸（mm）：高526

CRYO-PLEX?8LP型

抽速(升/秒): 空氣1500l/s; 水氣4000l/s; 氫氣2200l/s; 氬氣1200

通導(dǎo)(scc/min): 氬氣700

重量（Kg）:19

吸氣能力（std.liters）：氬氣1000 氫氣12（5x10-6torr）

轉(zhuǎn)換點(diǎn)（torr.liters）:150

制冷時(shí)間（min）：90

泵口法蘭：6in.ANSI(外徑11in.) ISO NW200 10in.CF

外形尺寸（mm）：高179 長574

CRYO-PLEX?10型

抽速(升/秒): 空氣3000l/s; 水氣9000l/s; 氫氣5000l/s; 氬氣2500

通導(dǎo)(scc/min): 氬氣1500

重量（Kg）:38.6

吸氣能力（std.liters）：氬氣2000 氫氣24（5x10-6torr）

轉(zhuǎn)換點(diǎn)（torr.liters）:300

制冷時(shí)間（min）：60

泵口法蘭：10in.ANSI(外徑11in.) ISO NW320 14in.CF

外形尺寸（mm）：高508

CRYO-PLEX?16型

抽速(升/秒): 空氣5000l/s; 水氣16000l/s; 氫氣12000l/s; 氬氣4200

通導(dǎo)(scc/min): 氬氣500

重量（Kg）:72.6

吸氣能力（std.liters）：氬氣2500 氫氣15（5x10-6torr）

轉(zhuǎn)換點(diǎn)（torr.liters）:300

制冷時(shí)間（min）：150

泵口法蘭：16in.CVC(外徑17.7in.) ISO NW400

外形尺寸（mm）：高610

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