1級 這個(gè)級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對集成電路的jq要求為亞微米。
10級 這個(gè)級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級 很多人認(rèn)為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對xj感染特別敏感的病人的隔離zl,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離zl。
1000級 這個(gè)級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級 萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級 十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。
潔凈室(區(qū))空氣潔凈級別表
潔凈度級別
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塵粒{zd0}允許數(shù)/立方米
≥0.5μm塵粒數(shù)
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≥5μm塵粒數(shù)
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微生物{zd0}允許數(shù)
浮游菌/立方米
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沉降菌/皿
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100級
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3,500
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0
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5
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1
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10,000級
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350,000
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2,000
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100
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3
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100,000級
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3,500,000
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20,000
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500
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10
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300,000級
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10,500,000
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60,000
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1000
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15
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