FAT-系列雙管測角儀是一款基于秒級光電自準(zhǔn)直儀,采用對比方法進(jìn)行角度測量的高精度的非接觸式角度測量儀器。廣泛應(yīng)用于光學(xué)加工中光學(xué)元件的任意光學(xué)二面、平行度、側(cè)垂、光束分離角、棱鏡出光綜合角等的精密測量。下面結(jié)合3個實際測量例子來簡單闡述:
1. 光學(xué)棱鏡二面角的測量:
將標(biāo)準(zhǔn)片置于樣品臺上,調(diào)節(jié)樣品臺,使得ACM兩管分別采集到樣品反射面1和2的反射像;然后,初始化基準(zhǔn)。
用同樣的方法調(diào)節(jié)待測樣品得到兩個反射像。專業(yè)測量軟件將對比反射像與基準(zhǔn)像,并自動計算出待測二面角的大小。
2. 測垂、平行度、光束分離角等的測量:
ACM-1和ACM-2可以分別獨立用作光電自準(zhǔn)直儀進(jìn)行這些指標(biāo)的準(zhǔn)確測量。使用標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行標(biāo)定基準(zhǔn)后,放上待測樣品(注意選擇正確基準(zhǔn)面和入射面);顯示屏上的角度讀數(shù)即為被測數(shù)值 。
3. 棱鏡90°光束分離角或綜合角測量:
將兩管調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)成光軸互垂直。標(biāo)定和測量時,ACM-1的輸出光為探測光,經(jīng)樣品的入射面反射,ACM-1收集到反射像,經(jīng)樣品90°透射后,由ACM-2接收到透射像。調(diào)節(jié)樣品的位置,可以保證ACM-1輸出的探測光垂直入射樣品的入射面。
比如:直角棱鏡、五角棱鏡等要求垂直入射樣品的入射面。同樣,用標(biāo)準(zhǔn)塊初始化基準(zhǔn)進(jìn)行比較法測量棱鏡的90°角。
應(yīng)用范圍:
1.棱鏡任意二面角;
2.直角棱鏡、分光棱鏡(PBS)等的90°光束偏向角;
3.五角棱鏡90°綜合角;
4.側(cè)垂、平行度、光束分離角等;
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