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特點
●可測定零件?基板由于加熱而形成的膨脹及變形
●因為可以按照X-Y軸方向移動下方的激光變形計,所以實現(xiàn)了連續(xù)變形的測試
●可以將溫度及時間任意設(shè)定19點、在其狀態(tài)下確認變位測定
●適用專業(yè)用軟件可以解析曲線數(shù)據(jù)?和變形測定數(shù)據(jù)
●通過結(jié)合錄像觀察系統(tǒng)、可以觀察焊錫的溶化過程(選項)
【規(guī)格】
【本體裝置規(guī)格】
項目
規(guī)格
對象基板尺寸 長:70W×70L mm 高:保持面上 10mm以下
裝置尺寸 652W×411D×425Hmm
加熱方式 上面:熱風?遠紅外線輻射過熱 下面:遠紅外線輻射加熱
冷卻方式 外部氣體(氮氣或空氣)導入
冷卻用流量調(diào)整弁付
電源 3相 200V 50/60Hz 1.5kVA
外部氣體 0.3~0.5MPa 100升/min (MAX)
爐內(nèi)氧氣濃度 (氮氣使用時) {zd1}100ppm
基板托盤 平托盤
上面加熱 熱風式:約675W(約75W×3本×3列)
※可以對標準管口進行偏差設(shè)定
紅外線加熱器:約300W
下面加熱 紅外線加熱器:約240W
溫度精度 5℃以內(nèi) ({zd0}基板中央 50W×50L mm范圍內(nèi))
測定溫度 常溫~330℃
測定點數(shù) 3點
氮氣供給機能 流量調(diào)整閥?。?00升/min
重量 約50kg
【計測機能規(guī)格】
項目
規(guī)格
計測方法 通過激光変位計有效計測下面的變位
測定范圍 X軸方向:{zd0}70mm
Y軸方向:{zd0}70mm
Z軸方向:標準點0~3mm
變位計分辨能 {zd0}0.2μm
X-Y軸驅(qū)動速度 {zd0}45mm/s(加減速度除外)
測定點 {zd0}19點(以在任意的時間及溫度內(nèi)連續(xù)的計測指定范圍)