把放大器(驅(qū)動電路) 內(nèi)藏在檢出部里,廉價小型輕便。?比高價的靜電電位監(jiān)視系統(tǒng)制造方便,而且價格便宜。?開關能改變測量范圍、可以測量從低到高較大范圍的電位。?裝有檢出傳感器故障表示LED、并能輸出到外部。 ?把放大器(驅(qū)動電路) 內(nèi)藏在檢出部里,廉價小型輕便。 ?比高價的靜電電位監(jiān)視系統(tǒng)制造方便,而且價格便宜。 ?開關能改變測量范圍、可以測量從低到高較大范圍的電位。 ?裝有檢出傳感器故障表示LED、并能輸出到外部。 KS-2100的規(guī)格 ●規(guī)格 表示部 型式 KS-2100 檢出方式 振蕩型表面電位傳感器 測量范圍 有效距離① ±1～±2000V 有效距離② ±0.01～±20.00kV 模擬輸出 0～±5V 測量精度 ±10％以內(nèi) 測量基準距離 有效距離① 10mm 有效距離② 50mm 警報 查出傳感器故障LED表示，外部輸出 電源 DC12～24V±5％ 環(huán)境 溫度0～40℃、濕度65％RH以下（沒有結露） 質(zhì)量 約100g（不含電纜） 付屬品 專用電纜5M（{zd0}到100m為止） 用途 ?在顯影平面的生產(chǎn)工序的帶電量監(jiān)視。 ?半導體芯片帶電量監(jiān)視。 LSI的處理中及印刷電路板搬送中來監(jiān)視帶電量。 尺寸?各部分的名稱 ■尺寸單位[mm]