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青島福盟微電子擴散爐--{zd0}限度滿足客戶需求
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青島福盟微電子擴散爐--{zd0}限度滿足客戶需求

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青島福盟微電子設備有限公司熱處理爐
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青島福盟微電子設備有限公司熱處理爐

青島福盟微電子設備有限公司是一家集控制技術、真空技術、熱工技術為一體的高新技術企業(yè)。目前主要產(chǎn)品有半導體專用設備：太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學氣相沉積設備，真空燒結爐、氫氣爐、鏈式燒結爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐， 同時承接各種微電子生產(chǎn)線及進口半導體專用設備的翻新改造工作。“以人為本，欲做生意，先學做人”的立廠之根，和“以客戶至上，質量{dy}，服務無止境”的立廠之本，堅持產(chǎn)品設計和服務質量的持續(xù)發(fā)展。福盟全體員工熱忱歡迎國內外廣大新老客戶來我公司洽談業(yè)務，共圖發(fā)展。
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擴散/氧化系統(tǒng)是半導體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的一種熱加工設備。其組成有：加熱爐（擴散爐主機）、凈化工作臺、送片系統(tǒng)（推拉舟系統(tǒng)）、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。 1、全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡便。 2、可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步。 3、工藝曲線的自動運行控制功能。 4、自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能。 5、工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能。 6、智能升降溫斜率控制功能。 7、PID參數(shù)自整定功能。 8、可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調用功能。 9、系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。 10、系統(tǒng)誤差修正（單點或多點動態(tài)修正功能）。 11、智能懸臂推拉舟控制功能。 12、工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質量流量控制器）。 13、停電后斷點繼續(xù)運行功能等等。 該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應的功能。 擴散爐主機主要技術指標 可配工藝管外徑：2-8英寸 可配工藝管數(shù)量：1-4管/臺 工作溫度范圍：400-1286℃ 恒溫區(qū)長度及精度：300-1000mm 800-1300℃±0.5℃ 單點溫度穩(wěn)定性：800-1300℃±1℃/24h {zd0}可控升溫速度：15℃/min {zd0}降溫速度：5℃/min
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