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導電薄膜的荷電載流子在輸運過程中受到表面和界面的散射,當薄膜的厚度可與電子的自由程相比擬時,在表面和界面的影響將變得顯著,這個現象稱為薄膜的尺寸效應。它等效于載流子的自由程減小,因此與同樣材料的塊體相比,薄膜的電導率較小。由于制備技術欠完善,通常薄膜中的缺陷濃度比較高,主要缺陷為雜質、空位、填隙原子、位錯、晶界,以及表面和界面的吸附和偏析等。
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