工作平臺
標準配置450mm×400mm
重復測量精度
2um
(移動范圍 300mm×250mm)
掃描間距
5um/10um/20um
大型工作平臺可特殊定制
掃描速度
6.7m㎡/s
自動平臺
X軸可移動 50mm,Y軸可移動50mm
掃描范圍
5.6mm×4.2mm(默認范圍)
測量光源
二級紅色激光
50mm×50mm({zd0}范圍)
照明光源
白色LED燈
3D模式
3D模擬圈
測量模式
自動全屏測量模式
SPC模式
生產線資料/印刷機資料/
框選自動測量模式
錫膏資料/鋼網(wǎng)資料/
框選普通測量模式
測量結果可分別獨立分析X_Bar & R圈分析
點高度測量模式
直方圈分析 & Ca/Cp/Cpk結果輸出
測理結果輸出
平均高度/{zg}點/{zd1}點
6Sigma自動判異功能
/體積/印刷面積
Leam模式/Program測量模式
視場
5.6mm×4.2mm
其它功能
測試點自動回中心功能
測量數(shù)據(jù)密度
30萬數(shù)據(jù)點/視場
操作系統(tǒng)
Windows XP
高度分辯率
1um
工作電源
AC110V/60H或220V/50Hz
包裝規(guī)格
長800mm×寬620mm×高600mm
包裝重量
55Kgs