超純水設備||工業(yè)高純水設備——清康達為您提供!
EDI 系統(tǒng)概述
半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子水質技術分為五個行業(yè)標準,分別為1MΩ.cm、5MΩ.cm、10MΩ.cm、16MΩ.cm、18MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
超純水設備||工業(yè)高純水設備——清康達為您提供!
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為:原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→陽床→陰床(復床)→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備其基本工藝流程為:原水→原水箱→原水泵→多介質過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→混床泵→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備,這是一種制取超純水的{zx1}工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸洹谩嘟橘|過濾器→精密過濾器→高壓泵→反滲透設備→RO水箱→(EDI)泵→保安過濾器→紫外線→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點 。
超純水設備||工業(yè)高純水設備——清康達為您提供!