工作平臺(tái)
標(biāo)準(zhǔn)配置450mm×400mm
重復(fù)測量精度
2um
(移動(dòng)范圍 300mm×250mm）
掃描間距
5um/10um/20um
大型工作平臺(tái)可特殊定制
掃描速度
6.7m㎡/s
自動(dòng)平臺(tái)
X軸可移動(dòng) 50mm，Y軸可移動(dòng)50mm
掃描范圍
5.6mm×4.2mm（默認(rèn)范圍）
測量光源
二級(jí)紅色激光
50mm×50mm（{zd0}范圍）
照明光源
白色LED燈
3D模式
3D模擬圈
測量模式
自動(dòng)全屏測量模式
SPC模式
生產(chǎn)線資料/印刷機(jī)資料/
框選自動(dòng)測量模式
錫膏資料/鋼網(wǎng)資料/
框選普通測量模式
測量結(jié)果可分別獨(dú)立分析X_Bar & R圈分析
點(diǎn)高度測量模式
直方圈分析 & Ca/Cp/Cpk結(jié)果輸出
測理結(jié)果輸出
平均高度/{zg}點(diǎn)/{zd1}點(diǎn)
6Sigma自動(dòng)判異功能
/體積/印刷面積
Leam模式/Program測量模式
視場
5.6mm×4.2mm
其它功能
測試點(diǎn)自動(dòng)回中心功能
測量數(shù)據(jù)密度
30萬數(shù)據(jù)點(diǎn)/視場
操作系統(tǒng)
Windows XP
高度分辯率
1um
工作電源
AC110V/60H或220V/50Hz
包裝規(guī)格
長800mm×寬620mm×高600mm
包裝重量
55Kgs
