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不銹鋼齒輪泵鍍膜工藝

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　由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油閥題。不銹鋼齒輪泵設備的鍍膜工藝中，在20~40Pa真空條件下鍍膜時，如果應用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設備造成污染，影響成膜量。半導體晶片制造工藝當中使用油泵與使用干泵相比，成品率存在509l左奮涸的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染?？茖W儀器行業(yè)尤其是在分析試儀器行業(yè)，采用不銹鋼齒輪泵對測試結果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采涸用渦旋無油真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外渦旋無油真空泵消酒除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱。
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